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簡述濕式蝕刻的優缺點

　　濕式蝕刻的優缺點：
 
蝕刻
 
　　低成本、高可靠性、高產能及優越的蝕刻選擇比。但相對于干式蝕刻，除了無法定義較細的線寬外，濕式蝕刻仍有以下的缺點：
 
　　1)需花費較高成本的反應溶液及去離子水；
 
　　2)氣泡形成及化學蝕刻液無法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻；
 
　　3)光阻附著性問題；
 
　　4)化學藥品處理時人員所遭遇的安全問題；
 
　　5)廢氣及潛在的爆炸性。

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