蝕刻加工的過程有哪些？
文章出處：http://www.6979.net.cn 閱讀量：0 發(fā)表時間：2021-01-14 17:31:39
一：清洗每件金屬鈑，上下兩面，均要干凈，除油，因為任何不潔表面均影響?zhàn)つべN在金屬之可靠性。清潔后之金屬兩面再貼上干膜，(Photo-resist)(此光反應(yīng)材料曝光于某光波段之光線中會塑性化，并產(chǎn)生對無機體溶液如酸液類防蝕作用)。
二：曝光然后，雙面蝕刻金屬板需小心夾放于兩層照相負(fù)片(光工具)中，而單面蝕刻則需放于光工具之下。利用加壓或抽真空把之夾緊，存放在適當(dāng)光線中曝光，此舉令曝露之黏膜塑化，黏膜對化學(xué)光(ActinicLight)是有反應(yīng)，惟在黃色光線，反應(yīng)甚微，曝光時間長短視乎光源強弱，黏膜劑種類等因素而定。光工具工藝從用放大倍數(shù)比例繪制圖案草稿開始，把尺寸準(zhǔn)確校正，再縮回原比例，此舉為便于控制尺寸精度，根據(jù)圖樣制造一底一面負(fù)片，再把金屬鈑牢牢夾于其中，若工件尺寸細(xì)小，要求在特定面積金屬鈑上蝕出若干件數(shù)時，可采用重迭排放機把影像重復(fù)攝制在負(fù)片上。至于上下負(fù)片如何保證絕對校正影像，便是此工藝之竅門。
三：顯影沖洗影像顯影工作是通過浸滌或涂噴特定顯影劑，顯影劑把曝光部份之黏膜溶解，剩下塑化部份。
四：烘干：顯影后之金屬鈑經(jīng)二次烘干。
五：蝕刻金屬板放入蝕刻機中把顯影后露出金屬之部份蝕刻，干膜部份受保護，不獲蝕刻。此工序是整個生產(chǎn)制程是較重要的工序之一。腐蝕劑有多種種類，例如氯化鐵，氫氟酸和水之混合物便是應(yīng)付鋼和合金銅的腐蝕劑，某些金屬是需用堿性的腐蝕劑。金屬蝕刻的缺陷：當(dāng)金屬面受蝕刻時，其黏膜邊位置亦會稍微凹陷，故蝕刻出來之剪切邊并不是百分一百垂直的。
所以蝕刻后之尺寸是跟影像尺寸略有些微差別，外圍尺寸縮而內(nèi)圍尺寸擴大，內(nèi)尖角位置是會變成小圓角，這些毛病是要經(jīng)過矯正后方后達至預(yù)期之精密度，另外矯正尺寸變化亦可在預(yù)留圖案草稿中進行。
當(dāng)然，金屬蝕刻的重要因素還是倚靠累積經(jīng)驗，才能控制準(zhǔn)確精密度。
六：剝脫、清洗、曬干清除蝕刻后鋼片上的干膜，清洗再烘干，整個蝕刻工藝流程完成!
