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蝕刻加工-顯影原理

曝光后的鋼片放入顯影機顯影,用5‰-12‰的Na2CO3溶液,顯影溫度30℃-40℃,顯影時活性基團羧基-COOH與Na2CO3反應,生成親水性基團-COONa,從而把未曝光的部分溶解下來,而曝光部分的干膜不被溶解。其留在板面上保護下面的鋼片不被蝕刻藥水蝕刻。
掌握正確的顯影時間對保證顯影質量至關重要,如果顯影時間不足,未聚合的光致抗蝕劑得不到充分的清潔顯影,未感光的抗蝕劑殘膠可能會留在金屬表面,造成蝕刻圖形失真。如果顯影時間過度,已聚合的光致抗蝕膜由于與顯影液接觸時間過長,而發毛、失去光澤,在蝕刻過程中容量產生圖形邊緣抗蝕膜起層或脫落。正確的顯影時間主要根據干膜提供的數據再經多次實驗來確定。
    一般顯影機由動力系統、顯影液槽、噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、風刀和溫度控制系統等部分組成。
①傳動系統:是引導鋼片運行的驅動裝置。是由電機通過蝸輪蝸桿或鏈輪鏈條帶動傳送輥轉動,并通過對壓膠輥驅動使鋼片通過顯影機的各個工作環節。
②顯影系統:鋼片顯影過程中,經過循環顯影液均勻連續噴淋,將沒有發生聚合反應的感光材料迅速溶解。為了保證顯影液在恒定條件下工作,此部分還有加熱器和冷卻器,可自動調節溫度。藥液自動循環過濾,保證各處藥液濃度和溫度均勻一致。
③沖洗系統:主要是由噴淋管向鋼片正反面噴淋清水,以除去附著在鋼片表面的顯影生成物和多余的顯影液,并通過擠壓輥擠去鋼片表面的水分。具備二次水洗功能。
④干燥系統:由風刀和膠輥組成,通過吹風和加熱使鋼片迅速干燥,最后將鋼片送出。

 
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