一、原理
其基本原理是運用化學感光資料的光敏特性, 在基體金屬基片雙面均勻涂敷感光資料選用光刻辦法, 將膠膜板上柵網產顯形狀精確地復制到金屬基片雙面的感光層掩膜上通過顯影去掉未感光有些的掩膜, 將暴露的金屬有些在后續的加工中與腐蝕液直接噴壓觸摸而被蝕除, 最終獲取所需的幾何形狀及高精度尺度的商品技能精密五金蝕刻技能。
二、局限
精密五金蝕刻技能是運用特定的溶液與薄膜間所進行的化學反響來去掉薄膜未被光阻覆蓋的有些，而抵達精密五金蝕刻的目的，這種精密五金蝕刻辦法也即是所謂的濕式精密五金蝕刻。由于濕式精密五金蝕刻是運用化學反響來進行薄膜的去掉，而化學反響自身不具方向性，因而濕式精密五金蝕刻進程為等向性，一般來說此辦法不足以界說3微米以下的線寬，但對于3微米以上的線寬界說濕式精密五金蝕刻仍然為一可挑選選用的技能。
三、濕式精密五金蝕刻的長處
低成本、高可靠性、高產能及優勝的精密五金蝕刻挑選比。但相對于干式精密五金蝕刻，除了無法界說較細的線寬外，濕式精密五金蝕刻仍有以下的缺點：1) 需花費較高成本的反響溶液及去離子水；2) 化學藥品處理時人員所遭受的安全問題；3) 光阻附著性問題；4) 氣泡構成及化學精密五金蝕刻液無法徹底與晶圓外表觸摸所形成的不徹底及不均勻的精密五金蝕刻；5) 廢氣及潛在的爆炸性。
濕式精密五金蝕刻進程可分為三個過程：1) 化學精密五金蝕刻液分散至待精密五金蝕刻資料之外表；2) 精密五金蝕刻液與待精密五金蝕刻資料發作化學反響； 3) 反響后之產品從精密五金蝕刻資料之外表分散至溶液中，并隨溶液排出(3)。三個過程中進行最慢者為速率操控過程，也即是說該過程的反響速率即為全部反響之速率。
四、濕式精密五金蝕刻的速率
通常可藉由改動溶液濃度及溫度予以操控。溶液濃度可改動反響物質抵達及脫離待精密五金蝕刻物外表的速率，一般來說，當溶液濃度添加時，精密五金蝕刻速率將會進步。而進步溶液溫度可加快化學反響速率，進而加快精密五金蝕刻速率。
除了溶液的選用外，挑選適用的屏蔽物質亦是十分重要的，它必須與待精密五金蝕刻資料外表有極好的附著性、并能接受精密五金蝕刻溶液的腐蝕且安穩而不蛻變。而光阻通常是一個極好的屏蔽資料，且由于其圖案轉印過程簡單，因而常被運用。但運用光阻作為屏蔽資料時也會發作邊際剝離或龜裂的景象。邊際剝離乃由于精密五金蝕刻溶液的腐蝕，形成光阻與基材間的黏著性變差所造成的。處理的辦法則可運用黏著促進劑來添加光阻與基材間的黏著性，如Hexamethyl-disilazane (HMDS)。龜裂則是由于光阻與基材間的應力區別太大，減緩龜裂的辦法可運用較具彈性的屏蔽原料來吸收兩者間的應力差。
