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高精密蝕刻質量的控制方法

　　高精密蝕刻工藝對產質量量操控的要求主要體現在操控的方法上，其操控的方法主要有可量化操控描繪和不行量化操控描繪。在規劃工藝時，應該盡或許地挑選前者，由于只要量化的方法才是較為直觀的方法，一起也較簡單被高精密蝕刻操作者所了解，也簡單被質較監督員選用丈量的東西進行量化查看。比方，深度的改動能夠用卡尺或其他更精細的儀器進行丈量；粗糙度能夠選用粗糙度測驗儀進行丈量；關于工件外表的砂眼能夠用砂眼直徑、深度及單位面積的個數來操控。

　　經高精密蝕刻后的工件力學功能的改動相同也可經過儀器來丈量。對加工進程中方法的質量操控能夠選用溫度計、pH計、各種剖析方法等來對整個加工進程中的要害工序進行丈量，以確保其整個加工進程的各個變量都在工藝規則的規模之內。以上是一些可量化的質量操控。但是在實踐生產進程中，有些工序或有些外表作用由于受條件的約束無法或沒有各種東西或儀器進行丈量，這時就會呈現一些用言語來描繪高精密蝕刻的質量操控及判別方法等。

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