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蝕刻加工過程有哪些?

  金屬蝕刻1,金屬蝕刻工藝流程一:
 
  每件金屬鈑,上下兩面,均要干凈,除油,因為任何不潔表面均影響黏膜貼在金屬之可靠性。
 
  清潔后之金屬兩面再貼上干膜,(Photo-resist)(此光反應材料曝光于某光波段之光線中會塑性化,并產生對無機體溶液如酸液類防蝕作用)。
 
  2,金屬蝕刻流程之二:曝光
 
  然后,雙面蝕刻金屬鈑需小心夾放于兩層照相負片(光工具)中,而單面蝕刻則需放于光工具之下。利用加壓或抽真空把之夾緊,存放在適當光線中曝光,此舉令曝露之黏膜塑化,黏膜對化學光(ActinicLight)是有反應,惟在黃色光線,反應甚微,曝光時間長短視乎光源強弱,黏膜劑種類等因素而定。
 
  光工具工藝從用放大倍數比例繪制圖案草稿開始,把尺寸準確校正,再縮回原比例,此舉為便于控制尺寸精度,根據圖樣制造一底一面負片,再把金屬鈑牢牢夾于其中,若工件尺寸細小,要求在特定面積金屬鈑上蝕出若干件數時,可采用重迭排放機把影像重復攝制在負片上。至于上下負片如何保證絕對校正影像,便是此工藝之竅門。
 
蝕刻加工
 
  3,金屬蝕刻之三:顯影沖洗
 
  影像顯影工作是通過浸滌或涂噴特定顯影劑,顯影劑把曝光部份之黏膜溶解,剩下塑化部份。
 
  4,金屬蝕刻之四:烘干:顯影后之金屬鈑經第二次烘干。
 
  5,金屬蝕刻之五:蝕刻金屬板放入蝕刻機中把顯影后露出金屬之部份蝕刻,干膜部份受保護,不獲蝕刻。此工序是整個生產制程是重要的工序之一。
 
  腐蝕劑有多種種類,例如氯化鐵,氫氟酸和水之混合物便是應付鋼和合金銅的腐蝕劑,某些金屬是需用堿性的腐蝕劑。
 
  金屬蝕刻的缺陷:當金屬面受蝕刻時,其黏膜邊位置亦會稍微凹陷,故蝕刻出來之剪切邊并不是百分一百垂直的。所以蝕刻后之尺寸是跟影像尺寸略有些微差別,外圍尺寸縮而內圍尺寸擴大,內尖角位置是會變成小圓角,這些毛病是要經過矯正后方后達至預期之精密度,另外矯正尺寸變化亦可在預留圖案草稿中進行。當然,重要因素還是倚靠累積經驗,才能控制準確精密度。
 
  6,金屬蝕刻工藝流程之六:剝脫、清洗、曬干。

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